“既然秦总确定，那我们就用这种技术，不过……这也只能解决暂时的问题，继续提升工艺，还是会遇到拦路虎。”
193纳米经过折射变成了133纳米，也就意味着，0.13微米的工艺能解决了，之后进入纳米时代呢？还是会遇到光刻机的光源问题的！
“接下来，一步到位，开发euv光刻机，光源使用13.5纳米的极紫外波长。”
徐教授一阵惊讶：“这也太快了吧？”
“一步步来，还会不断地遇到技术难题，还不如加大攻关难度，将这个捣鼓出来，以后十年二十年，都不用担心光源问题了。”
秦锋不懂具体的技术细节，但是他懂技术的发展路线，仅仅是这个，就会让己方的技术遥遥领先对手了。
在光刻机的技术探索上，有很多失败的例子，尼康的157纳米是个坑，同时，还有光刻机生产厂研究过126纳米光源，但是，这个波长更奇葩，不仅仅是熔石英会吸收，任何材料的吸收都很厉害，透镜不能用，只能用全反射的方式，结构跨度太大，分辨率也没提升多少。
所以，后世的光刻机厂商各种研究，最终认为，干脆一步到位，上13.5纳米的光源。
这个光源的研究，也是经过了长时间的尝试的，甚至最初还是13.4纳米，各种研究之后，才锁定13.5纳米。
“这个光源……”徐教授仔细地思考了一番：“得在真空中，还得是反射结构。”
反正继续向下选，各种光源都是需要真空环境加反射镜的，和之前的结构完全不同，所以，一步到位！
寻找反射的条件也不容易，最终工程师们找到了反射率最高的mo-si布拉格反射器，一层mo薄膜加上一层si薄膜，它的最高反射率在13.5纳米波长的位置，于是，这种光源就被确定了下来。
其他的技术路线，x光之类的，都被超越了。
不过，最初的时候，精度并不是特别高，只是比193浸润式光刻机提升了三倍而已，就算是这样，过渡到纳米时代也没问题了，之后不断研究，提升分辨率就可以了。
“具体的结构你们来选择，具体的技术难关，你们来攻克，不过，这条技术路线绝对是没问题的，你们按照这条路线发展就可以！”
秦总虽然是个外行，但是每次提出来的建议都是非常正确的，所以，徐教授没有继续犹豫，点头说道：“好，秦总，那我们就按照这个技术路线来！”
其中有多少技术难题，秦锋也不知道，这是手下们要干的！
现在，总算是没问题了吧？
看到徐教授依旧皱着眉头的样子，秦锋继续问道：“徐教授，还有问题？”
“目前，尼康正在研究193纳米光刻机，据说研究顺利，台积电已经下了几台订单，用不了多久，台积电也将会向0.18微米工艺发起冲击，而我们……”
秦锋皱着眉头，他最近一直忙活着造车等业务，高科技这一块，从来没输过，所以就没太多关注。
按说台积电应该走下坡路才对，没想到，居然又活过来了？
“台积电后来又从硅谷挖了一批人过来，尤其是蒋尚义，他是个技术天才，继续领导台积电。”
台积电能成为后世的庞然大物，那也是有资本的，林本坚、杨光磊、蒋尚义、孙元成、梁孟松、余振华六个技术大能，就是台积电最强悍的人，而台积电的真正发迹，也就是打赢了0.13微米制程这场仗。
将铝互联变成铜互联，使用浸润式光刻机，解决漏电问题……这几个人功不可没。
其中，蒋尚义是在97年才加入进来的，而且，一屁股就坐到了研发副总的位置上，以至于引来了内斗，其中一部分人离开，有的去了三星，有的去了中芯国际，然后台积电就开始玩起来了专利侵权的官司游戏来打击对手。
现在，一部分技术大能走了，蒋尚义过来，居然成了台积电的一把手，领导台积电搞先进技术，还试图想要翻身？
“没关系，他们搞他们的，我们搞我们的，我们搞竞争，那也是堂堂正正。”
徐教授点头：“好。”
看着众人离开的背影，秦锋看向了身边的邓小龙：“龙哥，盯住岛国的光刻胶企业，当他们出口arf光刻胶给台积电的时候……”
岛国的电子产业，曾经是相当发达的，甚至把英特尔的内存制造业务都给挤黄了，这引起了硅谷的集体不满，然后，一通操作猛如虎，岛国的电子产业就衰落下去了。
这并不意味着岛国就彻底和电子产业隔绝了，在某些领域里，岛国还是处于零点地位的，比如说光刻胶！
芯片制造是个大工程，需要很多上游配套厂家，光刻胶就是其中之一。
在晶圆放到光刻机上之前，需要在上面涂抹光刻胶，光刻机雕刻的，其实就是这层光刻胶，激光照射的地方，光刻胶就挥发了，然后就留下来了电路图，后面才是刻蚀机，按照光刻出来的电路图来刻蚀具体的电路。
光刻胶的好坏，决定了芯片的成品率，同时，不同的光刻机，也对应着不同的光刻胶，毕竟，它得对这种光源最敏感才行。
在后世，南棒国和岛国发生矛盾的时候，岛国就曾经断供光刻胶，让看似强大的三星瞬间陷入尴尬境地。
实际上，光刻胶这东西虽然有难度，也并不是被岛国彻底垄断的，只要花费力气，肯定能搞出来。
但是……所谓全球产业链，将很多芯片企业给锁死了，岛国的光刻胶，供应了全世界，于是就有了足够多的订单来分摊研发成本，其他企业想要涉足这个市场，那就意味着要面临亏本的境地，这对资本世界来说，明显是不合适的。
就拿2022年的数据来说，半导体规模为5735亿美元，而光刻胶只有22亿美元左右，不到百分之一，没必要投入巨资研发。
但是……当发现被卡脖子之后，也会咬牙研究，比如说，三星被卡了之后，一口气投入了六万亿南棒元来研制，到了2022年，他们终于研究出来了euv光刻胶，成功地用到了生产线上。
于是，岛国就尝到了曾经断供的恶果：南棒国的市场没了！
现在，全球的光刻胶，几乎都被岛国的jsr、东京应化、信越化学、富士电子等企业所瓜分，岛国就算是芯片行业没落了，在半导体制造链里，依旧处于上游供应链的位置！
当然，东方不会给岛国这个机会，东方的芯片产业，整个产业链都在国内，不用担心断供。
不过，台积电等等芯片厂，不可能从大陆采购，哪怕岛国的贵，肯定也得从岛国采购。
现在，台积电要玩0.18微米制程，那也得有合格的光刻胶！
“嗯，没问题。”邓小龙说道：“我们在岛国的力量还是很强的，完全可以在中途动手脚。”
秦锋摇头：“不，不，暂时只是监控。”
监控？
这下轮到邓小龙不解了。
“先让他们攻克这种工艺，然后全世界的订单都会飞向台积电，然后，在他们签署下大批订单，开始量产的时候，我们再动手脚，光刻胶只是其中一环，接下来还有断水、断电等等，总之，让他们几个月里，生产不出合格的芯片来！这样一来，他们的合同到期，就是赔偿了！”
这次，要彻底玩死台积电！
邓小龙睁大了眼睛，秦总，您真黑啊！ ', ' ')